这是一个用于接触晶圆上的大量焊盘的治具。

• ■ 也可以选择同轴探头类型（用于微电流测量）
• ■ 有助于高精度的高效测量和分析
• ■ 根据设备布局定制
• ※ 需要可选的探针卡适配器。

单探针，结构简单。

• ■ 准备各种针尖形状和尺寸
• ■ 可以根据测量设备选择最佳探头
• ※ 固定到操纵器。
• ※ 有多种电缆可用于连接测量仪器

将被导体连接到仪器的探针卡或护罩上。

• ■ 减少泄漏和干扰 ,实现微小电流的高精度测量
• ■ 还有用于微电压，微电阻和电容测量的开尔文连接探头。
• ■ 最适合的探头可以根据测量设备从各种针形状，材料等中选择。
• ※ 固定到操纵器。
• ※ 有多种电缆可用于连接测量仪器

当探针卡与晶圆接触时，精确控制探针卡位置。

• ■可接触几微米的Pattern
• ■ 广泛的产品阵容，从简单和便宜到高精度对齐
• ■ 还可以选择具有优异屏蔽和绝缘性能的微电流应用。

该电缆将探针连接到探针台。

• ■ 将探针连接到连接器面板，将探针直接连接到探针卡，并在一端焊接。
• ■ 可以选择用于测量微小电流，卡盘电极等的同轴电缆。
• ※ 对于连接器面板连接电缆，需要使用探针连接器面板选项。