选配
屏蔽盒
覆盖整个探针台并屏蔽光和电气的干扰。
特征
- ■ 通过抑制光学激发，干扰等进行精确测量
- ■ 它也可以与防震台一起使用
- ■ 有翻板门式和双开门式的两种款式,可根据设置环境进行自由选择
探针卡适配器
该适配器安装在探针卡上用于固定。
特征
- ■ 探针卡可通过简单的操作更换
- ■ 可以在短时间内执行探针卡的定位和倾斜调整
- ■ 牢固地握住探针卡并实现稳定的晶圆接触
连接器面板
带继电器连接器的板，用于连接测量仪器和探头。
特征
- ■ 附在屏蔽盒上，防止干扰和光线进入
- ■ 准备用于测量仪器和应用的各种连接器
- ■ 许多附件电缆，用于连接继电器连接器和探针卡
显微镜扫描仪
显微镜本体可以在X轴和Y轴方向上进行高精度地扫描。
特征
- ■ 高精度地控制显微镜的位置
- ■ 通过高效操作获取精细设备的高放大率图像
工作台
该表用于安装手动探针。
特征
- ■ 它也可以用来安排配件等
- ■ 使用脚轮/塞子轻松移动和固定
激光切割机
用于使用激光进行修复和标记。
特征
- ■ 可以根据目的安装各种类型的激光装置
隔振器
安装与手动探针台以防止周围环境的振动。
特征
- ■ 防止振动引起的干扰 ,实现高精度的微小电压和电流测量
- ■ 可从桌面防震桌或桌面集成防振桌中选择
- ■ 也可以与屏蔽盒组合使用
CCD相机
用于显微镜图像的大屏幕投影和图像数据保存。
特征
- ■ 可从各种相机中选择，例如分辨率
■ 选项对应表
| Prober模型 | 705C | MP-10C | 705A-WG7 | 708FT | AP-80A |
| 屏蔽盒 | ○ | ○ | ○ | ※ | ※ |
| 探针卡适配器 | ○ | ○ | ○ | ■ | ※ |
| 连接器面板 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 显微镜扫描仪 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 工作台 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 激光切割机 | ○ | ○ | ○ | ||
| 防震台 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| CCD相机 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
○: 可选功能
※: 与探测器主体相同的标准功能
■: 自定义响应
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