手动探针台（12英寸）
Model 705A-WG7
这是一款通用型手动探测器，用于分析最大12英寸的晶圆。
特 征
操作简单
- ■ 采用空气轴承平台，单手操作简单
- ・ 可以在短时间内进行阶段对准，从而提高测量效率。
广泛的接触区域
- ■ 采用滑动台确保了广泛的探测区域
- ・ 这样可以在不移动被测设备的情况下提高评估工作的效率。
安全设计
- ■ 安全锁定机制可防止因接触时误操作而损坏设备和探头
- ・减少浪费的设备，重新设计测量和探头维护。
定制
- ■ 可根据预期用途定制，例如安装各种显微镜和激光切割机
规 格
Model 705A-WG7
Manual Prober (for 12-inch wafer)
| Maximum device size |
Wafer | φ300mm |
|---|---|---|
| Large substrate | 500mm×400mm | |
| Stage travel (rough adjustment) |
X: 500mm Y: 400mm | |
| Sub-stage travel (fine adjustment) |
X: 25mm Y: 25mm | |
| Z stroke | 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm | |
| Θ travel | Rough adjustment: ±45° Fine adjustment: ±5° |
|
| External dimensions (WxDxH) | 978mm×1,038mm×748mm
(excluding options) |
|
| System weight | 130kg (excluding options) | |
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