手动探针台(8英寸 微小电流测定用)
Model 708fT
该手动探针能够测量fA水平的小电流。
特 征
微电流测量
- ■ 保护和屏蔽的三重结构可以测量fA水平的小电流
- ■ 通过彻底的防护结构实现低噪音，高精度测量
操作简单
- ■ 空气轴承平台可单手操作
- ・可以在短时间内进行阶段对准，从而提高测量效率。
安全设计
- ■ 安全锁定机构可有效避免因CONTACT时的误操作所导致的Device和探针台的损伤。
- ・减少不必要的 Device的重制，重新测试，探针维护等工序
定制
- ■ 温度依赖特性可以使用热夹头（+ 40℃至+ 200℃）进行评估
- ■ 可定制用于其他目的
规 格
Model 708fT
Manual Prober for Low Current Measurement (for 8-inch wafer)
| Maximum wafer size | φ200mm |
|---|---|
| Stage travel (rough adjustment) |
X: 220mm Y: 270mm |
| Sub-stage travel (fine adjustment) |
X: 10mm Y: 10mm |
| Z stroke | 0 / 0.3 / 3.5mm+3mm |
| Θ travel | ±5° |
| External dimensions (WxDxH) |
897mm×863mm×400mm (excluding options) |
| System weight | 120kg (excluding options) |
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