半自动探针台(8英寸 微小电流测定用)
Model AP-80A
这种半自动探针台能够测量fA水平的微小电流。
测量和分析的效率和准确性可实现兼容。
特 征
微小电流测量
- ■ 使用保护电位技术的结构可以实现fA水平的精细电流测量。
- ■ 低噪声和高精度测量
操作简单
- ■ 操纵杆的外部自动控制和手动操作（6种运动模式）
- ・ 半自动操作和手动操作都很容易，有助于提高测量效率。
标准符合主要测量仪器制造商的系统和软件商的系统和软件技术
- ■ Keysight Technologies
- ・B1500A Semiconductor Device Analyzer
- ・Desktop EasyEXPERT/Spark software
- ■ Keithley Instruments
- ・ACS（测量软件）安装系统和测量仪器
- ■其他测量仪器控制和软件的自定义适应性
各种选项和自定义
- ・ 使用热卡盘（+ 40°C至+ 200°C）评估温度相关特性的措施
- ・ 使用探针卡适配器可以连接微小电流用探针卡。
- ・ 可根据预期用途定制
规 格
Model AP-80A
Semi-Automatic Prober for Low Current Measurement (for 8-inch wafer)
| Maximum wafer size | Φ200mm |
|---|---|
| Stage travel | X:210mm Y:250mm |
| Travel resolution | 1μm |
| Accuracy in the positioning stage | ±10μm |
| Repeat accuracy in the positioning stage | ±2μm |
| Ζ stroke | 9mm+0.5mm (overdrive) |
| Θ stroke | ±5° |
| Control Interface | GP-IB |
| External dimension(WxDxH) | 820×930×1,220mm (excluding options) |
| System weight | 500kg (excluding options) |
相关产品
- ・ 配件
- ・ 选项
- ・温度控制器(热夹头)