便携式手动探针台（2英寸/4英寸）
Model PMP-2 2英寸
Model PMP-4 4英寸
这种个人手动探测器结构紧凑，适用于各种应用。
特 征
紧凑
- ■ 紧凑，轻巧的设计，适用于小型晶圆和芯片测量
- ・ 这是一个便携式探测器，设置场所无局限。
无需布局可对应不同的应用
- ■ 晶圆平台可XYZ向移动 探针台内部布局可变
- ・ 平台可以自由移动和固定，可以与探卡头轻松对位。
- ・ 通过更改内部布局，可以添加除探针卡之外的治具以适应各种应用。
高精度测量
- ■ 卡盘护罩的三重结构可减少干扰泄漏
- ・ 可以高精度测量fA水平和μV水平。
规 格
Model PMP-2 Personal Manual Prober (for 2-inch wafer)
| Maximum wafer size | φ50mm |
|---|---|
| X/Y stage travel* | X:60mm Y:60mm |
| Ζ stroke | 5 mm |
| Dimensions(WxDxH) | 300×300×260mm (excluding projection portion) |
| Weight | 12kg (excluding options) |
* 安装滑轨时
※ PMP-2标准配置：用于SMU的三轴-SMA连接器板，机械轴x3，同轴针x3，同轴电缆x4，真空泵x1。
※ PMP-2与热控制器和热电偶不兼容。
Model PMP-4 Personal Manual Prober (for 4-inch wafer)
| Maximum wafer size | φ100mm |
|---|---|
| X/Y stage travel* | X:100mm Y:100mm |
| Ζ stroke | 5 mm |
| Dimensions(WxDxH) | 350×370×260mm (excluding projection portion) |
| Weight | 14kg (excluding options) |
* 安装滑轨时
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