产 品 信 息PRODUCT INFOMATION

手动探针台(6英寸/8英寸）

Model 705C 6英寸
Model MP-10C 8英寸

这是一款通用型手动探针系列，可用于各种分析应用。
它还可用于评估温度特性和高压设备。

特 征

操作简单
  • ■ 采用空气轴承平台，单手操作简单
  • ・ 可以在短时间内进行阶段对准，从而提高测量效率。
安全设计
  • ■ 安全锁定机制可防止因接触时误操作而损坏设备和探头
  • ・ 减少浪费的设备，重新设计测量和探头维护。
定制
  • ■ 探针卡适配器，高耐压，热卡盘（+ 40°C至+ 300°C），各种显微镜，激光切割系统等可根据使用目的进行定制

规 格

Model 705C Manual Prober (for 6-inch wafer)

Maximum wafer size φ150mm
Stage travel
(rough adjustment)		 X: 180mm Y: 220mm
Sub-stage travel
(fine adjustment)		 X: 10mm Y: 10mm
　Z stroke 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm
Θ travel ±90°
External dimensions
(WxDxH)		 440mm×580mm×290mm

(excluding options)
System weight 50kg (excluding options)

Model MP-10C Manual Prober (for 8-inch wafer)

Maximum wafer size φ200mm
Stage travel
(rough adjustment)		 X:220mm Y:270mm
Sub-stage travel
(fine adjustment)		 X:10mm Y:10mm
Ζ stroke 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm
Θ stroke Rough adjustment: ±25°
Fine adjustment: ±5°
External Dimension(WxDxH) 560×761×346mm(excluding options)
System Weight 70kg (excluding options)

相关产品

  • ・ 选项
  • ・ 温度控制器（热夹头）