Logic Tester

半导体测试仪是向半导体器件提供电气信号并将输出信号与期待值进行比较,来检查它们是否按照设计的动作来运行的装置。它也被称为ATE（Automated Test Equipment）。

测试仪分为逻辑测试仪，内存测试仪和模拟测试仪。半导体的检查通常分两个阶段进行：晶圆检查（也称为芯片分类或探针检查），以及封装后进行的封装检查（也称为最终检查）。

探针台和探针卡用于晶圆检测，Handler和测试Socket与测试仪一起用于封装检测。