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微小电流测定用 Semiautomatic Prober(8 inch)
详细信息

微小电流测定用 Semiautomatic Prober(8 inch)MJC Website

 

特长

微小电流测定用Semiautomatic Prober(8inch)



  • 结构活用Card电位技术,可测量fA Level微小电流
  • 实现低杂音,高精度测量

 

简易操作



可自动控制及Joystick(移动Model 6种)手动操作外,

可将主要测定器Maker的系统及软体,对应标准化。 

  • 半自动操作和手动操作都很容易,提高了测量效率。

 



 

半导体器件B1500A分析仪  

*Keysight技术

  • 有ACS(测量软件)的系统和测量仪器
  • Desktop EasyEXPERT・Spark软件
  •  

    *Keithley仪器

  • 有ACS(测量软件)搭载系统和测量仪器
  •  

    *可为其他测量仪器和软件进行定制


    *各种各样的选择和定制

    • 可以配备thermochuck(-50℃+ 200℃;露水凝结预防机制与干燥的空气净化)或热查克(+ 40℃+ 300℃)评价与温度有关的属性
    • 可以使用探头卡适配器来配置低电流的探针卡
    • 可根据使用目的使用定制

    规格

    Model AP-80 8英寸微小电流Semi-Automatic Prober

    wafer尺寸 ~φ200mm
    stage移动范围 X:210mm Y:250mm
    stage可動最小分解能 1μm
    stage确定位置精度 ±10μm
    stage反复确定位置精度 ±2μm
    Z stroke 9mm +0.5mmoverdrive
    Θtravel ±5°
    Control interface GP-IB
    外形尺寸(WxDxH) 820mm×930mm×1,220mm(不含option)
    装置重量 500kg(不含option)

    相关信息
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