联系方式
  • 热线:021-64108891
  • 公司:迈嘉路微电子(上海)有限公司
  • 地址:上海市闵行区莲花路1733号701室华纳商务楼
  • 电话:021-64108891
  • 传真:021-64108893
  • 联系:王先生/ 骆小姐
  • 邮箱:gary@mjc-cn.com / cher@mjc-cn.com
  • 网址:http://www.mjc-cmc.com/
微小电流检测用Manual Prober(8 inch)
详细信息

微小电流检测用Manual Prober(8 inch) MJC Website

 

特长

微小电流测定



透过Guard及Shield的三重构造,可测量到fA程度的微小电流

以简易构造实现低噪音,高精度测量 

 

简易操作



采用空气轴承台,可单手简易操作 

允许在短时间内进行舞台定位,提高了测量效率。 

 

安全设计 



设有安全锁机构,可防止Contact是因操作错误造成Device或Probe损伤

减少设备的浪费,重测和探测维护。

 

客制化可能



利用Thermo Chuck(最低-50℃~+200℃ 有dry air purge预防结露的机构)或Hot Chuck(+40℃~+300℃)估出温度依存特性,也可配合其他使用目的进行客制化 

 

 规格

Model 708fT
Manual Prober for Low Current Measurement (for 8-inch wafer)

wafer尺寸 ~φ200mm
stage移动范围(粗调) X:220mm Y:270mm
stage移动范围(微调) X:10mm Y:10mm
Z stroke 0/0.3/3.5mm+3mm
Θtravel ±5°
外形尺寸(WxDxH) 897mm×863mm×400mm
(excluding options)
装置重量 120kg(excluding options)



 


相关信息
021-64108891
  • 公司:迈嘉路微电子(上海)有限公司
  • 地址:上海市闵行区莲花路1733号701室华纳商务楼
  • 电话:021-64108891
  • 传真:021-64108893
  • 邮箱:gary@mjc-cn.com / cher@mjc-cn.com
  • 联系:王先生/ 骆小姐
  • 网址:http://www.mjc-cmc.com/
CopyRight @ 2019 All Rights Reserved 迈嘉路微电子(上海)有限公司 版权所有  沪ICP备18007560 网站地图