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评价/解析用 Manual Prober(12 inch/大型基板)
详细信息

Model 705A-WG7(MJC Website)

   

特长

简易操作


 

采用空气轴承台,可单手简易操作

・允许在短时间内进行工作台定位,提高了测量效率

 

■广泛的接触面积

采用滑板工作台,可确保大范围的探测区域

・消除了对测量设备进行重新定位的需要,提高了评估效率。  

 

安全设计


设有安全锁机构,可防止Contact时因操作错误造成Device或Probe损伤

・减少设备的浪费,重测和探测维护  

客制化可能

搭载各类显微镜、雷射切割等,皆可配合使用目的客制化定做

 

规格

  

Model 705A-WG7
Manual Prober (for 12-inch wafer/large substrate)

 

対応device尺寸 wafer ~φ300mm
大型基板 ~500mm×400mm
stage移动范围(粗调) X:500mm Y:400mm
stage移动范围(微调) X:25mm Y:25mm
Z stroke 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ travel 粗调 ±45°
微调 ±5°
外形尺寸(WxDxH) 978mm×1,038mm×748mm(不含option)
装置重量 130kg(不含option)
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