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评价/解析用Prober(for 6-inch wafer/8-inch wafer)
详细信息
评价/解析用Prober(for 6-inch wafer/8-inch wafer)MJC Website
 
Model 705B
Model 705B 6inch
Model MP-10A 8inch
 
可大范围应用于各种评价及解析用途致Manual Prober系列。也可适用于温度特性评价及高电压Device评价。
 

特长

简易操作 


采用空气轴承台,可单手简易操作

允许在短时间内进行Stage定位,提高了测量效率。

 

安全设计


设有安全锁机构,可防止Contact时因操作错误造成Device或Probe损伤

减少设备的浪费,重测和探测维护

Prober Card Adapter、耐高压对应、Hot Chuck(+40℃~+300℃)、搭载各类显微镜、雷射切割等,皆可配合使用目的客制化定做

 

规格

 

Model 705B Manual Prober (for 6-inch wafer)

wafer尺寸 ~φ150mm
stage移動范围(粗调) X:180mm Y:220mm
stage移動范围(微调) X:10mm Y:10mm
Ζ stroke 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ travel ±90°
外形尺寸(WxDxH) 440×580×290mm(不含option)
装置重量 50kg(不含option)

 

Model MP-10A Manual Prober (for 8-inch wafer)

wafer尺寸 ~φ200mm
stage移動范围(粗调) X:220mm Y:270mm
stage移動范围(微调) X:10mm Y:10mm
Ζ stroke 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ travel 粗调:±25°
微调:±5°
外形尺寸(WxDxH) 560mm×761mm×346mm(不含option)
装置重量 70kg(不含option)
 
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